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意大利GIVI光栅尺的纹具特征
意大利GIVI光栅尺的纹具特征
光栅尺位移传感器按照制造方法和光学原理的不同,分为玻璃透射光栅和金属反射光栅。
(1)莫尔条纹的变化规律
两片光栅相对移过一个栅距,莫尔条纹移过一个条纹距离。由于光的衍射与干涉作用,莫尔条纹的变化规律近似正(余)弦函数,变化周期数与光栅相对位移的栅距数同步。
2)放大作用
意大利GIVI光栅尺的纹具特征
在两光栅栅线夹角较小的情况下,莫尔条纹宽度ω和光栅栅距W、栅线角θ之间有下列关系。式中,θ的单位为rad,W的单位为mm。由于倾角很小,sinθ很小,则
W=ω /θ
若ω =0.01mm,θ=0.01rad,则上式可得W=1,即光栅放大了100倍。
(3)均化误差作用
莫尔条纹是由若干光栅条纹共用形成,例如每毫米100线的光栅,10mm宽度的莫尔条纹就有1000条线纹,这
样栅距之间的相邻误差就被平均化了,消除了由于栅距不均匀、断裂等造成的误差。
意大利GIVI光栅尺的纹具特征
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